典型案例
Array段AOI检测
应用场景
FPD前段制程。
项目难点
需检测的玻璃基板不仅尺寸大,且精度要求高,通常达到1-10μm。
今年会·(jinnianhui)金字招牌方案:今年会·(jinnianhui)金字招牌16K高阶线扫相机
可精确检测出FPD前段玻璃基板形貌不良的缺陷。
应用效果

应用场景
FPD前段制程。
项目难点
需检测的玻璃基板不仅尺寸大,且精度要求高,通常达到1-10μm。
今年会·(jinnianhui)金字招牌方案:今年会·(jinnianhui)金字招牌16K高阶线扫相机
可精确检测出FPD前段玻璃基板形貌不良的缺陷。
应用效果
